+蒸发台
1.适用于LED业界量产型设备(111Pcs-195Pcs )
2.达到精准的膜厚均匀性控制(3%以内)
3.最佳化蒸镀腔及排气系统设计,可有效降低Cycle time,并提升材料利用率(提高20%)
4.针对于LED wafer 所特殊设计的夹治具,可靠度极佳,可由客户自行选择放置方式(内置式 或 外置式)