+磁控溅射系统 +感应耦合等离子刻蚀系统
+热蒸发 +离子束刻蚀机
+电子束蒸发 +终点探测仪
+连续式多腔溅射系统 +电子束曝光/ EBL,3D-SEM,纳米硬度仪
+全自动光刻机 +电铸槽(微机电模具)
+半自动光刻机 +紫外光源和曝光系统
+全自动显影机 +硅片/掩模清洗机热压铸机
+匀胶机  +园片键合机
+光学镀膜系统 +二手步进曝光机
+等离子去胶机
+旋干机