+蒸发台 +等离子去胶机 
+LED 芯片探针台  +LED 芯片分选机 
+直立/桌上型 多/单头式均胶机 +键合机
+化学湿法清洗台 +全自动光刻机
+全自动显影机 +半自动光刻机
+原子力显微镜  +旋干机
+全光谱反射式膜厚测量仪SR系列 +全光谱椭圆偏光测厚仪
+单波长绒面椭圆膜厚量测仪 +全光谱反射式椭圆偏光测试仪
+电子束影显微系统 +太阳能积分式反射仪 D8SR
+气相辅助式沉积系统 +自动TRACK系统
+打线机,粘粒机 +基板减薄机, 抛光机
+自动光罩对准机 +表面轮廓仪(台阶仪)
+铝/铜线  +电感耦合等离子体刻蚀